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PECVD開啟式管式爐系統
關 鍵 詞:PECVD系統,真空鍍膜、納米薄膜材料制備
PECVD啟用式管式爐系統在重力幫助水壓下,加在電感電感線圈的頻射交變磁場,使的不良反應室廢氣發生輝光發出電,在輝光生產發電范圍存在非常多的光學。他們光學在交變磁場的幫助下贏得十分充足的人體脂肪,其客觀存在溫度表很高,它與廢氣大分子式相相撞,使廢氣大分子式活性。我們吸咐在襯底上,并發生電化學物質的不良反應轉化成媒介膜,副化合物從襯底上解吸,隨主氣浪由重力幫助泵抽走,叫作等鋁離子體增強電化學物質色譜沉(PECVD)。
型       號:PECVD-1200
品       牌:鉅晶
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在(zai)(zai)蒸空學習壓力下,加(jia)在(zai)(zai)電(dian)(dian)(dian)感電(dian)(dian)(dian)機轉子的(de)(de)(de)(de)微波射頻電(dian)(dian)(dian)磁場(chang),使(shi)反(fan)饋室有毒氣(qi)態形成輝(hui)光自放電(dian)(dian)(dian),在(zai)(zai)輝(hui)光電(dian)(dian)(dian)站部(bu)分(fen)導致廣泛的(de)(de)(de)(de)智能(neng)微電(dian)(dian)(dian)子。這種智能(neng)微電(dian)(dian)(dian)子在(zai)(zai)電(dian)(dian)(dian)磁場(chang)的(de)(de)(de)(de)影響下贏得充分(fen)的(de)(de)(de)(de)的(de)(de)(de)(de)能(neng)量是什(shen)么,其(qi)一種水溫(wen)很高,它與有毒氣(qi)態碳(tan)原子相(xiang)碰(peng)撞測試,使(shi)有毒氣(qi)態碳(tan)原子滋養。我們吸出在(zai)(zai)襯底(di)上,并形成生物(wu)學反(fan)饋提取物(wu)料膜,副(fu)燃燒產(chan)物(wu)從襯底(di)上解吸,隨主(zhu)氣(qi)體(ti)由(you)蒸空泵(beng)抽走,被(bei)視為等鐵離(li)子體(ti)怎強生物(wu)學氣(qi)質聯用沉(chen)(PECVD)。

PECVD啟(qi)用式(shi)管(guan)式(shi)爐(lu)(lu)裝置(zhi)(zhi)由啟(qi)用式(shi)管(guan)式(shi)爐(lu)(lu)、高(gao)真(zhen)空環境氧分子泵裝置(zhi)(zhi)、微(wei)波射頻(pin)外接電源裝置(zhi)(zhi)及多(duo)安全通(tong)道高(gao)精確度(du)小數效果流(liu)量(liang)的(de)控住裝置(zhi)(zhi)結構,是科學試驗室(shi)種植保護(hu)膜(mo)(mo)石墨烯材(cai)料(liao),金屬材(cai)料(liao)保護(hu)膜(mo)(mo),陶瓷圖片(pian)保護(hu)膜(mo)(mo),復合型保護(hu)膜(mo)(mo)等的(de)完(wan)美選(xuan)定。

最主要效果和特性:

1、PECVD有著常(chang)規溫差(cha)低、形成速率單位(wei)快、涂膜高質(zhi)量高、針(zhen)孔較(jiao)少、更易(yi)皸裂等;

2、PECVD工藝設計中(zhong)猶豫等正離子體中(zhong)快速健身的電子器(qi)件相碰到中(zhong)性化(hua)化(hua)的影(ying)響固體氧(yang)氧(yang)分(fen)子,才(cai)會使中(zhong)性化(hua)化(hua)影(ying)響固體氧(yang)氧(yang)分(fen)子變回魂晶或引發(fa)成功(gong)激活的工作狀態(tai)簡(jian)易引發(fa)影(ying)響;

3、代入微(wei)波射頻(pin)等使內(nei)含復(fu)(fu)合(he)(he)膜包含原子團的甲(jia)烷氣體(ti),在輪廓線(xian)產(chan)生等正化(hua)合(he)(he)物體(ti),而等正化(hua)合(he)(he)物體(ti)有機化(hua)學活(huo)力強大,很更易形成(cheng)反饋,在基片上積(ji)累出所期盼的復(fu)(fu)合(he)(he)膜;

4、高(gao)抽(chou)(chou)抽(chou)(chou)真(zhen)(zhen)空(kong)體(ti)設備由單級(ji)旋(xuan)片抽(chou)(chou)抽(chou)(chou)真(zhen)(zhen)空(kong)體(ti)泵(beng)和分子(zi)結構(gou)泵(beng)組成了,最(zui)快抽(chou)(chou)抽(chou)(chou)真(zhen)(zhen)空(kong)體(ti)電(dian)動車續航0.001Pa;

5、數子的質(zhi)理用戶的有(you)效控(kong)(kong)制(zhi)技術軟(ruan)件是由多(duo)路(lu)的質(zhi)理用戶計,用戶表明(ming)儀等構成的,保持混合氣體的用戶的精密機械測量和的有(you)效控(kong)(kong)制(zhi);

6、每一條有毒氣體液(ye)壓(ya)管路均(jun)選用(yong)低壓(ya)逆止閥,確認裝置的(de)應急性和重復豎直性;

7、用KF快速(su)的(de)法蘭片(pian)封(feng)口,卸車不便一鍵;

8、濾油器采(cai)取Swagelok卡套相連,不漏氣;

9、超溫、過壓時,自主切割采暖器電源線及訪問(wen)量計進氣,用到(dao)的安全(quan)牢靠。

通常種類:

高職高專院(yuan)校、研究院(yuan)所在真空(kong)環(huan)境表層的鍍膜(mo)、納(na)米技術(shu)透(tou)氣(qi)(qi)膜(mo)文件制(zhi)得,的生長透(tou)氣(qi)(qi)膜(mo)石墨烯材料(liao),金屬材料(liao)透(tou)氣(qi)(qi)膜(mo),陶瓷圖片透(tou)氣(qi)(qi)膜(mo),pp透(tou)氣(qi)(qi)膜(mo)等,也可(ke)以作為為延伸等正離子沖洗刻蝕便用。

系統數據:

SKGL-1200

解鎖式管式爐

控溫辦法

選用勞(lao)動力智能化(hua)轉換(huan)工藝,更(geng)具PID控制、自整定(ding)功(gong)能表,并可編制管理(li)30段(duan)升(sheng)降系統溫程序(xu)代碼。

采暖器組件

0Cr27Al7Mo2

工作的供電

AC220V 50Hz/60Hz

額定的工作功率

4kw

爐給水管材質

高純石英砂管

爐管尺寸大小

Φ60/Φ80*1200mm

本職工作溫差

≤1150℃

是最高的環境溫度

1200℃

常溫導致精度

±1℃

常溫區

200mm

回升網絡速度

≤10℃/min

密封圈玩法

不繡鋼更快的(de)法蘭片擠壓成型密封隔絕

ZK-F

大分子泵高壓氣程序

高壓氣范疇

0.1-0.001Pa

限制真空環境

4.0*10^-4Pa

新產品系統配置

雙極旋片負壓泵+團(tuan)伙(huo)泵

精確測量方案

軟型抽真空計

真空泵規管

內阻規+電離規

水冷卻方試

風冷

運轉交流電源

AC220V 50/60HZ

抽速

110L/S

rf射頻交流電源設計

微波射頻打出打出面積

5~500W

rf射頻幾率

13.56MHz±0.005%

噪聲污染

≤55DB

空氣冷卻形式

風冷

熱效率溫定度

± 0.1%

HQZ-Ⅳ

混氣系統

人流量金(jin)橋(qiao)銅業(ye)跨接(jie)線的(de)截面積大小

0-200sccm (可據加盟商必須要安裝)

平滑

±1.5%F.S

較準度

±1.5%F.S

抄襲高精準度

±0.2%F.S.

反映時間間隔

≤8sec

耐沖擊

3MPa

氣路安全通道

4檢(jian)修通道(選(xuan)擇客服標(biao)準(zhun))

針閥

316冷庫保溫隔(ge)熱(re)板(ban)的表(biao)層(ceng)

熱力管道

Φ6mm不銹螺旋鋼管

電源接口

SwagelokΦ6mm





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